設(shè)備主體：VHP傳遞窗采用不銹鋼主體結(jié)構(gòu)，內(nèi)腔采用316L不銹鋼，框架和外表面采用304不銹鋼結(jié)構(gòu)，內(nèi)腔采用圓弧角滿焊設(shè)計(jì)，采用Ra≤0.6μm拋光度。
VHP發(fā)生單位：內(nèi)置閃蒸原理干法VHP發(fā)生器，采用集成控制方式，與VHP傳遞窗采用 統(tǒng)一控制方式，VHP 發(fā)生濃度，腔體溫濕度和飽和度控制更穩(wěn)定。
氣動(dòng)密封系統(tǒng)：壓縮空氣動(dòng)力系統(tǒng)包含充氣密封和氣動(dòng)閥門(mén)的控制。充氣密封和氣動(dòng)閥控制采用一路壓縮空氣管路，包含減壓閥和電磁閥控制。另一路壓縮空氣。
控制系統(tǒng)：標(biāo)準(zhǔn)的控制系統(tǒng)采用PLC和HMI控制方式，采用標(biāo)準(zhǔn)的模塊化控制板，穩(wěn)定可靠，控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)經(jīng)過(guò)充分的驗(yàn)證和實(shí)踐應(yīng) 用，穩(wěn)定可靠。
凈化過(guò)濾系統(tǒng)：腔體送風(fēng)和排風(fēng)均采用H14 高效過(guò)濾器過(guò)濾，工藝管路和腔體均采用凈化設(shè)計(jì)，配合高效過(guò)濾系統(tǒng)，可在腔體實(shí)現(xiàn)A級(jí)凈化，設(shè)備預(yù)留專用檢測(cè)口，可對(duì)凈化條件實(shí)現(xiàn)在線測(cè)試驗(yàn)證。
電器系統(tǒng)：電器柜的設(shè)計(jì)符合安全和防護(hù)法規(guī)要求，電器線路布局有序合理，強(qiáng)電和弱電標(biāo) 示明顯，符合CE和EN標(biāo)準(zhǔn)。
EHS要求：人員安全防護(hù)和產(chǎn)品安全防護(hù)均在設(shè)計(jì)上做了充分考慮，采用強(qiáng)電安全保護(hù)，保證操作人員接觸不到強(qiáng)電，兩側(cè)均有急停按鈕設(shè)計(jì)；高溫部件采取明確高溫標(biāo)示；腔體采用電磁互鎖裝置，避免產(chǎn)品和潔凈室的污染；異常狀態(tài)聲光報(bào)警信號(hào)提示，避免安全事件發(fā)生。
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