干式螺桿真空泵是通過(guò)泵腔內一對作等速反向旋轉螺桿的嚙合作用，吸入并排出被抽氣體而形成高真空，其結構如右圖所示。螺桿真空泵的螺桿轉子型線(xiàn)采用自主設計的專(zhuān)利型線(xiàn)，由一對斜齒齒輪驅動(dòng)，以順時(shí)針?lè )较蜣D動(dòng)（從電機風(fēng)扇端側觀(guān)察）。在螺桿旋轉時(shí)，二個(gè)螺桿之間、螺桿和泵體之間都保持一定的間隙且互不接觸，因而運轉時(shí)泵腔內無(wú)摩擦，可以實(shí)現轉子的高轉速運轉。依靠轉子間隙和泵腔間隙進(jìn)行密封，將被抽氣體被螺桿轉子平順地壓送到排氣口，并血接排出泵腔，螺桿泵兩端的軸封確保齒輪箱內的潤滑油無(wú)法進(jìn)入泵腔內部。螺桿真空泵為臥式結構，采用聯(lián)軸器與電機直聯(lián)。
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